01252nam a2200277 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031020002500072049002800097052001400125056001100139082001600150245011100166260008800277300004600365500005900411504002400470536020300494650005300697700006100750880002900811880009300840880002700933950001400960KMO20221497120220509140935ta220307s2022    ggkacd     JJ 000   kor    a9791191495096g935500 lEM8198680lEM8198681c201a569b22-4  a5692601a621.381223006880-01aMEMS 특론 :b2021 뿌리스마트 융합특성화인력양성 사업 교재 /d저자: 이희철  6880-02a[시흥] :b한국산업기술대학교 ;a서울 :b삼창미디어,c2022  a152 p. :b삽화, 도표, 초상 ;c30 cm  aMEMS는 "Micro Electro Mechanical System"의 약어임  a참고문헌 수록  a산업혁신인재성장지원사업 「뿌리스마트융합특성화인력양성(P0008425)」의 결과물로 산업통상자원부(한국산업기술진흥원)의 지원을 받아 제작되었음 8a마이크로 머신[micromachine]0KSH20000251941 6880-03a이희철,g李禧哲,d1973-0KAC2017399104aut006245-01/(BaMEMS teungnon  6260-02/(Ba[Siheung] :bHanguk Saneop Gisul Daehakgyo ;aSeoul :bSamchang Midieo,c20221 6700-03/(BaI, Huicheol1 a비매품