00854nam a2200217 k 4500001001500000005001500015008004100030040001900071041001300090049003200103052002100135056001300156082001800169100004800187245018900235260003600424300003100460502008000491653004500571963002000616KDM199631915  20200730123904961218s1996    bnkaf      FC 000   kor    a011001c0110010 akorbeng0 lEM1456912lEM1456913c2fDP01a569.8b성184ㅇ  a569.8230 a621.381712191 a성열문,g成烈汶,d1966-0KAC20163753110aRFTS 이온 플레이팅 시스템의 방전특성과 그 응용에 관한 연구=x(A)study on the discharge characteristics and application of the RFTS ion plating system/d成烈汶  a부산:b釜山大學校,c1996  aiii,185장:b삽도;c26cm1 a학위논문(박사) --b부산대학교 대학원:c전기공학과,d1996  aRFTSa이온a플레이팅a방전특성  a전기공학과