01090pam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031020003300072023001800105049002800123052001600151056001300167082001800180245006000198260005500258300003800313500007200351504002400423536006800447650004000515650004200555700006100597880003900658880005700697880002400754950001000778KMO20201801520200518163928ta190225s2019    gnkad      FR 000   kor    a9788966200986g13550:c\9000  aCIP20190069550 lEM7561374lEM7561375c201a569.4b20-7  a569.42601a621.38152223006880-01a반도체 장비 실습 /d지은이: 이제원  6880-02a김해 :b인제대학교 출판부,c2019  a299 p. :b삽화, 도표 ;c25 cm  a권말부록: 공정에 많이 쓰이는 화학약품의 성질 등  a참고문헌 수록  a인제대학교 PRIME사업 사업비를 지원받아 작성됨 8a반도체[半導體]0KSH1998000581 8a장비(기계)[裝備]0KSH20000192311 6880-03a이제원,g李濟原,d1969-0KAC2018467064aut006245-01/(BaBandoche jangbi silseup  6260-02/(BaGimhae :bInje Daehakgyo Chulpanbu,c20191 6700-03/(BaI, Jewon0 b\9000