01017nam a2200241 c 4500001001500000005001500015008004100030040001900071041001300090049001700103052002400120056001600144082001800160100003600178245020100214260003600415300003500451502008000486653015400566950002100720963002000741965001400761KDM198713840  19941012194254880215s1987    ulkaf      AK 000   kor    a011001c0110010 akorbeng0 lEM586051fDM01a559.7932b주241ㄱ  a559.7932230 a669.967322191 a주정훈,d1962-0KAC20170208010a개량된 활성화 반응성 증착법에 의한 타이타늄 질화물 증착중 플라즈마내의 전자의 온도와 밀도가 박막의 구조와 전기저항에 미치는 영향/d朱廷焄  a서울:b서울大學校,c1987  aii,42p.:b삽도,도판;c26cm0 a학위논문(석사) --b서울大學校 大學院:c金屬工學科,d1987  a개량된a활성화a반응성a증착법a타이타늄a질화물a증착중a플라즈마내a전자a온도a밀도a박막a구조a전기저항1 a비매품b\2500  a금속공학과  a티타늄