00773nam a2200205 k 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049003200082052001600114056001300130082001500143245012400158260003600282300002900318502008000347504002700427653006500454700004800519KDM20054945420170331112617051209s2005    ulka       AC 000   kor  0 akorbeng0 lEM3475095lEM3475096c2fDM01a530.4b5-48  a530.4240 a620.1122100aRF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 투명전극용 Al:ZnO 박막의 특성에 관한 연구/d卓成柱  a서울:b高麗大學校,c2005  av, 78장:b삽도;c26cm0 a학위논문(석사) --b高麗大學校 大學院:c材料工學科,d2005  a참고문헌: 장73-76  a산화물반도체aZNO박막a스퍼터링 박막 증착법1 a탁성주,g卓成柱,d1976-0KAC201713290