01373cam a22002891c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040002700072041001300099049003200112052001700144056001300161082001500174245024100189260003700430300005900467500002800526502008000554504003000634546002500664653007700689700005300766856012400819900001400943940012600957KDM20180695720200903112415ta170103s2017    jbkad    m OC 000c  kor    a245011c011012d0110010 akorbeng0 lEM6902047lEM6902048c2fDP01a530.4b18-20  a530.42601a620.1122300a방전플라즈마소결공정을 이용한 Al계 및 Cu계 금속 스퍼터 타겟 제조 및 특성평가 =xFabrication and property evaluation of Al and Cu alloys metal sputter target by a spark plasma sintering process /d朴賢國  a전주 :b全北大學校,c2017  avi, 176장 :b삽화(일부천연색), 도표 ;c26 cm  a지도교수: 孫仁縉1 a학위논문(박사) --b全北大學校 大學院,c材料工學科,d2017  a참고문헌: 장 172-176  a영어 요약 있음  a스퍼터링타겟aCuaAlaAl-Si-CuaCu-Mna방전플라즈마소결법1 a박현국,g朴賢國,d1980-0KAC2018G69144aut40uhttp://www.riss.kr/link?id=T14440184nKERISz이 자료의 원문은 한국교육학술정보원에서 제공합니다.10a손인진0 a방전플라즈마소결공정을 이용한 에이아이계 및 씨유계 금속 스퍼터 타겟 제조 및 특성평가