01604nam a2200373 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245021100124246005800335300002400393545006200417545006200479545006200541545006200603545004300665545007400708653005900782700001900841700001400860700001400874700001400888700001400902700004800916773016100964900002001125900001701145900001601162900001801178900001701196900001701213KSI00092711920141117090904141115s2014    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a539.9705b한635ㅎc31(3)00aH₂를 첨가한 전자빔의 NF₃ 가스 분해 특성 =xCharacteristics of NF₃ gas decomposition using electron-beam with H₂ /d최창용,e김종범,e조정건,e장성호,e손영일,e류재용30aH2를 첨가한 전자빔의 NF3 가스 분해 특성  ap. 243-249 ;c26 cm  a최창용, 한국원자력연구원 공업환경연구부  a김종범, 한국원자력연구원 공업환경연구부  a조정건, 한국원자력연구원 공업환경연구부  a장성호, 부산대학교 바이오환경에너지학과  a손영일, 한국환경산업기술원  a류재용, 경남대학교 도시환경공학과bjaeyong03@gmail.com  aElectron beamaPFCsaNF₃aNF3aSemiconductor process1 a최창용4aut1 a김종범1 a조정건1 a장성호1 a손영일1 a류재용,g柳在溶,d1967-0KAC2016284700 t한국폐기물자원순환학회지.d韓國廢棄物資源循環學會.gvol.31 no.3(2014년 4월), p. 243-249q31:3<243w(011001)KSE201000437,x2093-233210aChoi, Changyong10aKim, Jongbum10aJo, Junggun10aJang, Seongho10aSon, Youngil10aRyu, Jaeyong