01126nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002300093245021000116300002400326545004700350545007100397545006600468653007500534700001900609700001400628700004800642773012800690900001800818900001800836900001800854KSI00091700820140205170758131231s2013    gnk           000   kor    a0110010 akorbeng01a505b한625c19(2)00a아크 플라즈마를 이용한 과불화합물 처리공정에서 반응가스에 의한 효과 =xEffect of reaction gases on PFCs treatment using arc plasma process /d박현우,e최수석,e박동화  ap. 113-120 ;c30 cm  a박현우, 인하대학교 화학공학과  a최수석, 인하대학교 열플라즈마환경기술연구센터  a박동화, 인하대학교 화학공학과bdwpark@inha.ac.kr  a플라즈마a분해효율aCF4aSF6aNF3aCF₄aSF₆aNF₃aPlasma1 a박현우4aut1 a최수석1 a박동화,g朴東化,d1954-0KAC2018245990 t청정기술.d한국청정기술학회.gVol.19 no.2(2013년 6월), p. 113-120q19:2<113w(011001)KSE200301942,x1598-971210aPark, Hyunwoo10aChoi, Sooseok10aPark, Dongwha