01633nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245027700124300002200401545004700423545004700470545006800517545004700585545006800632653017000700700001900870700002800889700004800917700004800965700003601013773014201049900002001191900001701211900002801228900002501256900002601281KSI00091178920140210123933131105s2013    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a539.9705b한593ㅈc22(2)00a실리콘 웨이퍼 切斷工程에서 發生하는 실리콘 카바이드 슬러지로부터 鐵, 실리콘 除去 =xRemoval of Fe, Si from silicon carbide sludge generated in the silicon wafer cutting process /d朴會景,e高鳳煥,e朴均榮,e姜泰遠,e張喜棟  ap. 22-28 ;c26 cm  a박회경, 공주대학교 화학공학부  a고봉환, 공주대학교 화학공학부  a박균영, 공주대학교 화학공학부bkypark@kongju.ac.kr  a강태원, 공주대학교 화학공학부  a장희동, 한국지질자원연구원 희유자원연구센터  a실리콘 슬러지a실리콘 카바이드a실리콘a관형반응기a기상 염소화법aSilicon sludgeaSiliconaSilicon carbideaTubular reactoraChlorination1 a박회경4aut1 a고봉환0KAC2018A96311 a박균영,g朴均榮,d1950-0KAC2017041811 a강태원,g姜泰遠,d1956-0KAC2018236801 a장희동,d1959-0KAC2017011130 t資源리싸이클링.d한국자원리싸이클링학회.g22권 2호(2013년 4월), p. 22-28q22:2<22w(011001)KSE199508709,x1225-832610aPark, Hoeykyung10aGo, Bonghwan10aPark, Kyunyoung,d1950-10aKang, Taewon,d1956-10aJang, Heedong,d1959-