00613nam a2200157 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072052002800083245007100111300002200182545007600204700005300280773012200333KSI00085322720110721103346ta110427s2006    ulk           000   kor    a01100101a576.05b한568ㅅc9(4)00a실리콘 산화물 박막의 원자층 증착 기술 /d이원준  ap. 15-22 ;c30 cm  a이원준, 세종대학교 나노신소재공학부bwjlee@sejong.ac.kr1 a이원준,g李源晙,d1970-0KAC2018376374aut0 t세라미스트.d한국세라믹학회.g9권 4호(2006년 8월), p. 15-22q9:4<15w(011001)KSE199801461,x1226-976X