01140nam a2200253 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072052002900083245012500112300002200237545008600259545006800345545006800413545006800481545006800549700004100617700004800658700001400706700001400720700002800734773012400762KSI00085346120110721103345ta110428s2007    ulk           000   kor    a01100101a576.05b한568ㅅc10(4)00a반도체 제조공정용 탄화규소 부품/소재 기술 /d박상환,e이동윤,e한재호,e윤성호,e조경선  ap. 38-53 ;c30 cm  a박상환, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부bspark@kist.re.kr  a이동윤, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부  a한재호, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부  a윤성호, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부  a조경선, 한국과학기술연구원 재료기술연구본부1 a박상환,d1958-0KAC2018436734aut1 a이동윤,g李東潤,d1969-0KAC2017561511 a한재호1 a윤성호1 a조경선0KAC2018K83030 t세라미스트.d한국세라믹학회.g10권 4호(2007년 8월), p. 38-53q10:4<38w(011001)KSE199801461,x1226-976X