01296nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003100096245027600127300002400403545011000427545010900537653013100646700005300777700004800830773015300878900001901031900001601050KSI00085429220110708142019ta110502s1999    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱㄱc48(1)00a비 선형 요소를 갖는 정전 마이크로 구동기의 외란 관측기에 기초한 디지털 추종 제어기 설계 =xDesign of digital tracking controller based on disturbance observer for micro electrostatic actuator with nonlinearity /d崔玄澤,e徐一弘  ap. 773-780 ;c30 cm  a최현택, 정회원, 한양대 전자 및 컴퓨터 공학부 박사과정bhtchoi@scorpio.hanyang.ac.kr  a서일홍, 정회원, 한양대 전자 및 컴퓨터 공학부 교수·공박bihsuh@shira.hanyang.ac.kr  aHDDaTracking controlaMicro electrostatic actuatoraNonlinearityaSaturationaInternal stabilitya역함수a강인 안정도1 a최현택,g崔玄澤,d1968-0KAC2017083114aut1 a서일홍,g徐一弘,d1955-0KAC2017050770 t전기학회논문지. A, 전력기술부문.d대한전기학회.g48권 6호(1999년 6월), p. 773-780q48:6<773w(011001)KSE199900352,x1229-244310aChoi, Hyuntaek10aSuh, Ilhong