01201nam a2200277 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245019600125300002400321545006100345545005800406545006100464653009500525700001900620700004200639700004800681773012400729856002100853900002000874900001400894900001500908KSI00081538220100710162415ta100528s1995    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a576.05b한566ㅇc32(5)00a스퍼터링 방법을 이용한 중금속 산화물 유리 박막의 증착 =xDeposition of heavy metal oxide glass thin films by R.F. magnetron sputtering /d김웅권,e허종,e제정호  ap. 669-676 ;c26 cm  a김웅권, 포항공과대학교 재료·금속공학과  a허종, 포항공과대학교 재료·금속공학과  a제정호, 포항공과대학교 재료·금속공학과  a스퍼터링 방법a중금속 산화물 유리a유리 박막aHMOGaGlass filmaIR glass1 a김웅권4aut1 a허종,g許鍾,d1957-0KAC2018255811 a제정호,g諸丁鎬,d1957-0KAC2017036940 t窯業學會誌.d한국요업학회.g32卷 6號(1995년 6월), p. 669-676q32:6<669w(011001)KSE199508697,x1225-137240u76108728aKd00010aKim, Woongkwern10aHeo, Jong10aJe, Jungho