01043nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003500096245014700131300002200278545005300300545005300353653012600406700001900532700004800551773014600599856002100745900001800766900001700784KSI00081737320100716152416ta100608s2008    tjk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한526ㅎc11(1)-11(4)00a액상에서의 엑시머 레이저 실리콘 미세가공 =xExcimer laser micromachining of silicon in liquid phase /d장덕석,e김동식  ap. 12-18 ;c26 cm  a장덕석, 포항공과대학교 기계공학과  a김동식, 포항공과대학교 기계공학과  aExcimer laseraMicromachiningaSiliconaLiquid phaseaVisualizationa액상a엑시머 레이저a실리콘a미세가공1 a장덕석4aut1 a김동식,g金東植,d1968-0KAC2018317090 t한국레이저가공학회지.d한국레이저가공학회.gVol.11 no.1(2008년 3월), p. 12-18q11:1<12w(011001)KSE199901120,x1229-096340u75071338aKd00210aJang, Deoksuk10aKim, Dongsik