01504nam a2200337 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003300096245019100129300002200320545006200342545006200404545006200466545006200528545006200590653011000652700005300762700001400815700003600829700004800865700001400913773014400927900001501071900001901086900001901105900002501124900001701149KSI00081720120100719152415ta100607s2006    tjk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한526ㅎc9(1)-9(3)00a스캐너를 이용한 고속 펨토초 레이저 가공 기술 =xHigh-speed femtosecond laser micromachining with a scanner /d손익부,e최성철,e노영철,e고도경,e이종민  ap. 11-16 ;c26 cm  a손익부, 광주과학기술원 고등광기술연구소  a최성철, 광주과학기술원 고등광기술연구소  a노영철, 광주과학기술원 고등광기술연구소  a고도경, 광주과학기술원 고등광기술연구소  a이종민, 광주과학기술원 고등광기술연구소  aFemtosecond laser processingaMicromachiningaGalvanometer scannera스캐너a펨토초 레이저 가공1 a손익부,g孫翼夫,d1968-0KAC2017485444aut1 a최성철1 a노영철,d1966-0KAC2017312091 a고도경,g高道炅,d1963-0KAC2017243251 a이종민0 t한국레이저가공학회지.d한국레이저가공학회.gVol.9 no.2(2006년 9월), p. 11-16q9:2<11w(011001)KSE199901120,x1229-096310aSohn, Ikbu10aChoi, Sungchul10aNoh, Youngchul10aKo, Dokyeong,d1963-10aLee, Jongmin