01487nam a2200313 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245024800121300002200369545004700391545004700438545007100485545013700556653012700693700001900820700001400839700004800853700004800901773013300949856002101082900001801103900001901121900001701140900001601157KSI00083299920100814135620ta100721s2007    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c31(1)00a이온식각공정의 재증착 현상을 이용한 니켈 마이크로 나노 구조물 제작 =xFabrication of nickel nano and microstructures by redeposition phenomena in ion etching process /d정필구,e황성진,e이상민,e고종수  ap. 50-54 ;c26 cm  a정필구, 부산대학교 기계공학부  a황성진, 부산대학교 기계공학부  a이상민, 부산대학교 미세기계전자시스템협동과정  a고종수, 회원, 부산대학교 기계공학부, 부산대학교 정밀정형및금형가공연구소(ERC/NSDM)bmems@pusan.ac.kr  a니켈a나노벽a마이크로채널a이온 식각a재증착aNickelaNanowallaMicrochannelaIon etchingaRedeposition1 a정필구4aut1 a황성진1 a이상민,g李相旼,d1974-0KAC2018483701 a고종수,g高宗秀,d1968-0KAC2017019170 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g31권 1호(2007년 1월), p. 50-54q31:1<50w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75076113aKd00010aJung, Phillgu10aHwang, Sungjin10aLee, Sangmin10aKo, Jongsoo