01604nam a2200313 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245021200121300002400333545009200357545009700449545012000546545006600666653018400732700004100916700001400957700004800971700004801019773013601067856002101203900001601224900001601240900001801256900001601274KSI00083548120100814135615ta100731s2006    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c30(3)00a나노판의 선택적 식각에 의한 이동이 가능한 나노구조체 제작 =xFabrication of movable nanostructures by selective etching of nanoplates /d하동한,e윤용주,e아칠성,e윤완수  ap. 328-333 ;c26 cm  a하동한, 회원, 한국표준과학연구원, 전략기술연구부bdhha@kriss.re.kr  a윤용주, 한국표준과학연구원, 전략기술연구부, 서강대학교, 물리학과  a아칠성, 한국표준과학연구원, 전략기술연구부, 한국전자통신연구원, IT융합부품연구소  a윤완수, 한국표준과학연구원, 전략기술연구부  a나노판a나노부품a집속이온빔a선택적 식각a리쏘그라피a이온 식각aNanoplateaNanocomponentaFocused ion beamaSelective etchingaLithographyaIon milling1 a하동한,d1959-0KAC2017040874aut1 a윤용주1 a아칠성,g阿七成,d1966-0KAC2018870671 a윤완수,g尹琓洙,d1968-0KAC2017064460 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g30권 3호(2006년 3월), p. 328-333q30:3<328w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75076003aKd00010aHa, Donghan10aYun, Yongju10aAh, Chilseong10aYun, Wansoo