01545nam a2200349 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245017700121300002600298545005300324545005300377545005300430545005300483545010000536653016400636700005300800700001400853700001400867700001400881700004800895773013900943856002101082900001801103900002001121900001801141900001901159900001701178KSI00083357820100814135613ta100721s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c29(9)00aLithium tantalate(LiTaO₃) 웨이퍼의 CMP에 관한 연구 =x(A)study on the CMP of lithium tantalate wafer /d이현섭,e박범영,e서헌덕,e장원문,e정해도  ap. 1276-1281 ;c26 cm  a이현섭, 부산대학교 정밀기계공학과  a박범영, 부산대학교 정밀기계공학과  a서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과  a장원문, 부산대학교 정밀기계공학과  a정해도, 회원, 부산대학교 정밀정형 및 금형가공 연구소bhdjeong@pusan.ac.kr  a화학기계적 연마a화합물반도체a슬러리a리튬탄탈레이트a마찰력aCMPaCompound semiconductoraSlurryaLithium tantalateaFriction force1 a이현섭,g李顯燮,d1976-0KAC2018484344aut1 a박범영1 a서헌덕1 a장원문1 a정해도,g丁海島,d1961-0KAC2013114060 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g29권 9호(2005년 9월), p. 1276-1281q29:9<1276w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75075882aKd00010aLee, Hyunseop10aPark, Boumyoung10aSeo, Heondeok10aChang, Onemoon10aJeong, Haedo