01677nam a2200385 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002600096245021200122300002600334545008300360545005300443545005300496545005300549545005300602545005500655653015200710700005300862700001400915700001400929700001400943700001400957700004800971773014201019856002101161900001801182900002001200900001701220900001901237900001801256900001701274KSI00083454720100814135608ta100727s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c28(11)00aCMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향 =xEffects of friction energy on polishing results in CMP process /d이현섭,e박범영,e김구연,e김형재,e서헌덕,e정해도  ap. 1807-1812 ;c26 cm  a이현섭, 회원, 부산대학교 정밀기계공학과bbestplay@pusan.ac.kr  a박범영, 부산대학교 정밀기계공학과  a김구연, 부산대학교 정밀기계공학과  a김형재, 부산대학교 정밀기계공학과  a서헌덕, 부산대학교 정밀기계공학과  a정해도, 회원, 부산대학교 기계공학부  a화학기계연마a마찰에너지a마찰계수a연마율aChemical mechanical polishingaFriction energyaCoefficient of frictionaRemoval rate1 a이현섭,g李顯燮,d1976-0KAC2018484344aut1 a박범영1 a김구연1 a김형재1 a서헌덕1 a정해도,g丁海島,d1961-0KAC2013114060 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g28권 11호(2004년 11월), p. 1807-1812q28:11<1807w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75075415aKd00010aLee, Hyunseop10aPark, Boumyoung10aKim, Gooyoun10aKim, Hyoungjae10aSeo, Heondeok10aJeong, Haedo