01074nam a2200205 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002600096245026400122300002600386545007300412653015100485700005300636773014200689856002100831900001600852KSI00083443120100814135608ta100727s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c28(11)00aPZT 박막 적외선 감지소자의 적외선 흡수층으로 증착된 니켈 박막의 광학 및 전기적 특성 분석 =xAbsorptance and electrical properties evaluation of nickel layer deposited onto thin film pyroelectric PZT IR detector /d고종수  ap. 1727-1732 ;c26 cm  a고종수, 회원, 부산대학교 기계공학부bmems@pusan.ac.kr  a적외선 흡수층a적외선 감지소자a니켈a미세가공기술aInfrared absorption layeraInfrared detectoraPZTaNickelaMicromachining1 a고종수,g高宗秀,d1968-0KAC2017019174aut0 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g28권 11호(2004년 11월), p. 1727-1732q28:11<1727w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75075419aKd00010aKo, Jongsoo