01253nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245022900121300002400350545005300374545006100427653024200488700005300730700003600783773013600819856002100955900001700976900001800993KSI00083139120100814135521ta100717s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a550.5b대446c22(4)00a유연기구를 이용한 초정밀 단일체 3축 스테이지의 모델링 및 최적설계에 관한 연구 =xModeling and optimal design of monolithic precision XYZ-stage using flexure mechanism /d심종엽,e권대갑  ap. 868-878 ;c26 cm  a심종엽, 한국과학기술원 기계공학과  a권대갑, 회원, 한국과학기술원 기계공학과  a초정밀 3축 스테이지a분해능a압전소자a단일체a유한요소해석법a최적설계aPrecision XYZ-stageaAtomic force microscopeaAFMaScanning tunneling microscopeaSTMaResolutionaPZTaMonolithicaFEMaOptimal design1 a심종엽,g沈鍾燁,d1973-0KAC2017492374aut1 a권대갑,d1952-0KAC2016238400 t대한기계학회논문집.d대한기계학회.g22권 4호(1998년 4월), p. 868-878q22:4<868w(011001)KSE199600637,x1226-487340u75062556aKd00010aShim, JongY.10aGweon, Daegab