01423nam a2200313 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003400096245023500130300002200365545006900387545005000456545005000506545005000556653013300606700005300739700001400792700001400806700004800820773014300868856002101011900001701032900001801049900002201067900002001089KSI00080747420100628104224ta100510s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한438ㅎㅅc2005(1)00a마이크로 사이즈 인출구경을 이용한 고휘도 이온빔 인출 시스템 개발 =xDevelopment of a high brightness ion beam extraction system using micro-size aperture /d김윤재,e박동희,e정형설,e황용석  ap. 19-23 ;c26 cm  a김윤재, 서울대학교 원자핵공학과bkyj0202@snu.ac.kr  a박동희, 서울대학교 원자핵공학과  a정형설, 서울대학교 원자핵공학과  a황용석, 서울대학교 원자핵공학과  a마이크로 사이즈 인출구경a이온빔 인출 시스템aPlasma ion sourceaFocused ion beamaBrightnessaVirtual source1 a김윤재,g金侖在,d1961-0KAC2018383284aut1 a박동희1 a정형설1 a황용석,g黃鏞錫,d1961-0KAC2013333431 t(한국공작기계학회)학술대회 논문집.d韓國工作機械學會.g2005 春季(2005), p. 19-23q2005:1<19w(011001)KSE20020194340u45015769aKd00210aKim, Yoonjae10aPark, Donghee10aJeong, Hyeongseol10aHwang, Yongseok