01528nam a2200373 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003400096245024500130300002400375545004100399545004700440545004100487545004700528545004100575545002800616653008000644700005300724700004800777700003600825700001400861700001400875700002800889773014600917856002101063900001501084900001401099900001401113900001301127900001401140KSI00080496720100625104208ta100503s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한438ㅎㅅc2002(1)00a초정밀 평면 X-Y 스테이지의 시뮬레이션 및 제어성능 평가 =xSimulation and control performance evaluation of ultra-precision single plane X-Y stage /d곽이구,e김재열,e한재호,e김영석,e안재신,e노기웅  ap. 422-428 ;c26 cm  a곽이구, 조선대학교 대학원  a김재열, 조선대학교 기계공학부  a한재호, 송원대학 자동차과  a김영석, 조선대학교 기계공학부  a안재신, 조선대학교 대학원  a노기웅, 화천기공  a초정밀 평면aX-Y 스테이지aUltra-precision single planeaX-Y stage1 a곽이구,g郭二丘,d1975-0KAC2017265374aut1 a김재열,g金在烈,d1958-0KAC2018171811 a한재호,d1968-0KAC2018308991 a김영석1 a안재신1 a노기웅0KAC2020E71651 t(한국공작기계학회)학술대회 논문집.d韓國工作機械學會.g2002 春季(2002), p. 422-428q2002:1<422w(011001)KSE20020194340u45016016aKd00210aKwac, L.K.10aKim, J.Y.10aHan, J.H.10aAn, J.S.10aRoh, K.W.