00971nam a2200205 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245019300124300002400317545011500341653008700456700005300543773013000596856002100726900001800747KSI00080408620100612195531ta100429s2007    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc56(1)00a건식법을 이용한 폴리이미드 박막의 제조 및 광특성 =x(A)study of the photosensitive characteristic and fabrication of polyimide thin film by dry processing /d李鵬周  ap. 139-141 ;c30 cm  a이붕주, 정회원, 인하대학교 전자전기공학부 기능성박막연구실, 공박baprilb@empal.com  a건식법a폴리이미드 박막aPolyimideaVapor deposition polymerizationaVDP1 a이붕주,g李鵬周,d1973-0KAC2017123344aut0 t전기학회논문지.d대한전기학회.g56卷 1號(2007년 1월), p. 139-141q56:1<139w(011001)KSE199508722,x1975-835940u76615092aKd00010aLee, Boongjoo