01234nam a2200277 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245021400124300002600338545006100364545006600425545006600491653010000557700001900657700003600676700003600712773013300748856002100881900001900902900001700921900001800938KSI00080406320100614195526ta100429s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc47(7)00a주파수 조정 방식의 미소 광 스위치용 실리콘 거울 =x(An)electrostatic silicon micromirror device for applications to tunable optomechanical microswitches /d徐敬宣,e曺永昊,e尹聖基  ap. 1051-1056 ;c30 cm  a서경선, 정회원, KAIST 기계공학과 박사과정  a조영호, 정회원, KAIST 기계공학과 조교수, 공박  a윤성기, 정회원, KAIST 기계공학과 부교수, 공박  aMicromirroraOptomechanical switchaFrequency tuninga주파수 조정 방식a실리콘 거울1 a서경선4aut1 a조영호,d1957-0KAC2018054891 a윤성기,d1953-0KAC2018L61610 t전기학회논문지.d대한전기학회.g47卷 7號(1998년 7월), p. 1051-1056q47:7<1051w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76614967aKd00010aSeo, Kyoungsun10aCho, Youngho10aYoun, Sungkie