01843nam a2200385 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245029300125300002600418545007500444545007800519545008200597545007700679545009300756545009300849653013500942700001901077700001401096700001401110700004801124700001401172700001401186773013601200856002101336900001901357900001401376900001701390900001601407900001501423900001901438KSI00080602720100614195520ta100506s1997    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc46(10)00a(110) 실리콘의 모퉁이 보상 및 이를 이용한 가속도계 감지부 구조물의 제작 =xCorner compensation of (110) silicon and its application for the fabrication of accelerometer sensing structures /d金炳旭,e韓아름,e李尙禹,e趙東日,e李昊駿,e曺光賢  ap. 1546-1556 ;c30 cm  a김병욱, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 석사과정  a한아름, 정회원, 미국 신시내티대 전기공학과 석사과정  a이상우, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 박사과정 수료  a조동일, 정회원, 서울대 공대 전기공학부 부교수, 공박  a이호준, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 선임연구원, 공박  a조광현, 정회원, (주)현대전자산업 전장사업본부 책임연구원, 공박  a(110) 실리콘a가속도계 감지부a(110) siliconaAnisotropic etchingaCorner compensationaAccelerometer sensing structures1 a김병욱4aut1 a한아름1 a이상우1 a조동일,g趙東日,d1958-0KAC2018267421 a이호준1 a조광현0 t전기학회논문지.d대한전기학회.g46卷 10號(1997년 10월), p. 1546-1556q46:10<1546w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76614470aKd00010aKim, Byungwook10aHan, Arum10aLee, Sangwoo10aCho, Dongil10aLee, Hojun10aCho, Kwanghyun