01123nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245017300124300002600297545008100323545007600404653014400480700001900624700004800643773013300691856002100824900001800845900001800863KSI00080511120100614195519ta100503s1997    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc46(7)00a실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험 =xFabrication and testing of a micropump using a silicon diaphragm /d金永洙,e梁翔植  ap. 1135-1140 ;c30 cm  a김영수, 준회원, 아주대 대학원 제어계측공학과 석사졸업  a양상식, 정회원, 아주대 전기전자공학부 부교수, 공박  a실리콘 박막a마이크로펌프aThermopneumatic micropumpap+ diaphragmaMicroheateraNozzle/diffuseraMicrochannelaPerformance test1 a김영수4aut1 a양상식,g梁翔植,d1958-0KAC2017007940 t전기학회논문지.d대한전기학회.g46卷 7號(1997년 7월), p. 1135-1140q46:7<1135w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76614657aKd00010aKim, Youngsoo10aYang, Sangsik