01205nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072052002900083245024500112300002600357545008700383545008700470653016100557700002400718700004800742773013600790856002100926900001400947900001400961KSI00080456820100614195513ta100430s1996    ulk           000   eng    a01100101a560.5b대483ㄱc45(10)01a(An)accelerometer with polysilicon piezoresisters bulk-micromachined using a p+ silicon etch-stop layer =xp+ 실리콘 식각정지층을 이용하여 몸체가공한 폴리실리콘 압저항 가속도계 /dEui-hyeok Yang,eSang-sik Yang  ap. 1509-1511 ;c30 cm  aEui-hyeok Yang, 정회원, 일본동경대 생산기술연구소 연구원, 공박  aSang-sik Yang, 정회원, 아주대 공대 전기전자공학부 부교수, 공박  aAccelerometeraPolysilicon piezoresistoraBulk-micromachinedap+ silicon etch-stopaSensitivityap+ 실리콘 식각정지층a폴리실리콘a가속도계1 aYang, Euihyeok4aut1 a양상식,g梁翔植,d1958-0KAC2017007940 t전기학회논문지.d대한전기학회.g45卷 10號(1996년 10월), p. 1509-1511q45:10<1509w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76614182aKd00010a양의혁10a양상식