01241nam a2200277 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245018100124300002400305545007700329545007500406545007400481653008600555700005300641700004800694700001400742773013000756856002100886900001800907900001900925900001900944KSI00080335320100614195504ta100428s1995    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc44(4)00aFTS와 CPMS 스퍼터 시스템의 방전특성 연구 =x(A)study on the discharge characteristics of both FTS and CPMS sputtering systems /d郭東周,e成烈汶,e朴正后  ap. 806-811 ;c30 cm  a곽동주, 정회원, 경성대 공대 전기공학과 조교수, 공박  a성열문, 정회원, 부산대 대학원 전기공학과 박사과정  a박정후, 정회원, 부산대 공대 전기공학과 교수, 공박  aFTS systemaCPMS systemaDischarge characteristicaPlasma parametera방전특성1 a곽동주,g郭東周,d1958-0KAC2016370724aut1 a성열문,g成烈汶,d1966-0KAC2016375311 a박정후0 t전기학회논문지.d대한전기학회.g44卷 6號(1995년 6월), p. 806-811q44:6<806w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76614085aKd00010aKwak, Dongjoo10aSung, Youlmoon10aPark, Chunghoo