01117nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245016700124300002600291545007500317545007500392653014700467700001900614700004800633773013600681856002100817900001900838900001800857KSI00080344120100608195449ta100428s1992    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a560.5b대483ㄱc41(7)00a압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구=x(A)study on a silicon resonator for piezoresistive accelerometers /d梁義爀,e梁翔植  ap. 1164-1171 ;c30 cm  a양의혁, 정회원, 아주대 대학원 전자공학과 박사과정  a양상식, 정회원, 아주대 공대 제어계측공학과 조교수  aAccelerometeraPiezoresistoraCantileveraSeismic massaAnisotropic etchinga가속도계a압저항a외팔보a진동추a비동방성식각1 a양의혁4aut1 a양상식,g梁翔植,d1958-0KAC2017007940 t전기학회논문지.d대한전기학회.g41卷 10號(1992년 10월), p. 1164-1171q41:10<1164w(011001)KSE199508722,x0254-417240u76613327aKd00010aYang, Euihyeok10aYang, Sangsik