01683nam a2200373 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003700096245023700133300002400370545005000394545005000444545008400494545008400578545005000662545006900712653009400781700005300875700001400928700001400942700004800956700001401004700004801018773013301066900001701199900001601216900001901232900002401251900001601275900001801291KSI00077549820091005100721ta090720s2007    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc17(9)-17(12)00a기판 온도에 따른 수소화된 Al-doped ZnO 박막의 특성 변화 =xEffect of growth temperature on the properties of hydrogenation Al-doped ZnO films /d탁성주,e강민구,e이승훈,e김원목,e임희진,e김동환  ap. 629-633 ;c30 cm  a탁성주, 고려대학교 신소재공학과  a강민구, 고려대학교 신소재공학과  a이승훈, 한국과학기술연구원 재료연구부 박막재료연구센터  a김원목, 한국과학기술연구원 재료연구부 박막재료연구센터  a임희진, 고려대학교 신소재공학과  a김동환, 고려대학교 신소재공학과bsolar@korea.ac.kr  a기판 온도aAl-doped ZnO 박막aAl-doped ZnOaRf magnetron sputteraTCOaHydrogenated1 a탁성주,g卓成柱,d1976-0KAC2017132904aut1 a강민구1 a이승훈1 a김원목,g金元穆,d1959-0KAC2017208251 a임희진1 a김동환,g金東煥,d1959-0KAC2012208170 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g17권 12호(2007년 12월), p. 629-633q17:12<629w(011001)KSE199509224,x1225-056210aTark, Sungju10aKang, Mingu10aLee, Seunghoon10aKim, Wonmok,d1959-10aLim, Heejin10aKim, Donghwan