01590nam a2200337 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003600096245030200132300002400434545004700458545006500505545004700570545005600617545005600673653014300729700001900872700004700891700004800938700001400986700003601000773013001036900001701166900001701183900001601200900001701216900001901233KSI00077350320091005100715ta090713s2006    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc16(1)-16(6)00aRF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO₂/Si(100)기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성 =xStructural and optical properties of ZnO thin films grown on SiO₂/Si(100) substrates by RF magnetron sputtering /d한석규,e홍순구,e김효진,e이재욱,e이정용  ap. 360-366 ;c30 cm  a한석규, 충남대학교 재료공학과  a홍순구, 충남대학교 재료공학과bsoonku@cnu.ac.kr  a김효진, 충남대학교 재료공학과  a이재욱, 한국과학기술원 신소재공학과  a이정용, 한국과학기술원 신소재공학과  aRF 마그네트론 스퍼터링aZnO 박막aZnOaRF magnetron sputteringaPLaTEMaGrain sizeaGrain boundaryaNonradiation recombination1 a한석규4aut1 a홍순구g洪淳玖,d1966-0KAC2018301871 a김효진,g金曉辰,d1962-0KAC2018384491 a이재욱1 a이정용,d1951-0KAC2013292770 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g16권 6호(2006년 6월), p. 360-366q16:6<360w(011001)KSE199509224,x1225-056210aHan, Seokkyu10aHong, Soonku10aKim, Hyojin10aLee, Jaewook10aLee, Jeongyong