01312nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003600096245017300132300002400305545005800329545005800387545005100445545008100496653010500577700001900682700001400701700004800715700004800763773013000811900001900941900001700960900001600977900001700993KSI00077215120091005100710ta090709s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc15(1)-15(6)00aCu-CMP에서 alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 =xEffect of alanine on Cu/TaN selectivity in Cu-CMP /d박진형,e김민석,e백운규,e박재근  ap. 426-430 ;c30 cm  a박진형, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교  a김민석, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교  a백운규, 세라믹공학과, 한양대학교  a박재근, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교bparkjgl@hanyang.ac.kr  a반도체 소자a알루미늄aCopper CMPaAlanineaColloidal silica slurryaSlurry pHaSelectivity1 a박진형4aut1 a김민석1 a백운규,g白雲揆,d1964-0KAC2017000991 a박재근,g朴在勤,d1959-0KAC2018283380 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g15권 6호(2005년 6월), p. 426-430q15:6<426w(011001)KSE199509224,x1225-056210aPark, Jinhyung10aKim, Minseok10aPaik, Ungyu10aPark, Jeagun