01269nam a2200265 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003700096245022300133300002400356545005000380545007200430545005600502653014600558700001900704700004800723700003600771773013000807900001800937900002300955900002500978KSI00077252320091020100659ta090710s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc13(7)-13(12)00a나노인덴테이션과 주사탐침현미경을 이용한 박막 재료의 특성평가 =xCharacterization of thin film materials by nanoindentation and scanning probe microscopy /d김봉섭,e윤존도,e김종국  ap. 606-612 ;c30 cm  a김봉섭, 경남대학교 공동기기센터  a윤존도, 경남대학교 신소재공학부bjdyun@kyungnam.ac.kr  a김종국, 한국기계연구원 박막공정그룹  aNanoindentationaScanning probe microscopyaHardnessaElastic modulusaThin filma나노인덴테이션a주사탐침현미경a박막 재료1 a김봉섭4aut1 a윤존도,g尹存道,d1956-0KAC2015079441 a김종국,d1966-0KAC2017375060 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g13권 9호(2003년 9월), p. 606-612q13:9<606w(011001)KSE199509224,x1225-056210aKim, Bongseob10aYun, Jondo,d1956-10aKim, Jongkuk,d1966-