01074nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003700096245021400133300002400347545007900371545006000450653010000510700005300610700001400663773013000677900001900807900001800826KSI00077251520091020100659ta090710s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc13(7)-13(12)00a질화물 반도체의 미세구조 분석을 위한 최적의 TEM 시편 준비법 =xOptimization of TEM sample preparation for the microstructural analysis of nitride semiconductors /d조형균,e김동찬  ap. 598-605 ;c30 cm  a조형균, 동아대학교 공과대학 금속공학과bchohk@donga.ac.kr  a김동찬, 동아대학교 공과대학 금속공학과  aNitrideaTEMaMicrostructureaDefectaTripod polishera질화물 반도체a미세구조 분석1 a조형균,g趙炯均,d1972-0KAC2017073594aut1 a김동찬0 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g13권 9호(2003년 9월), p. 598-605q13:9<598w(011001)KSE199509224,x1225-056210aCho, Hyungkoun10aKim, Dongchan