02198nam a2200481 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003700096245032400133300002400457545005900481545007700540545003400617545003400651545005900685545005900744545005900803545005900862545005300921653016500974700001901139700004801158700002801206700001401234700001401248700004801262700004801310700004801358700001401406773013001420900001701550900002401567900001701591900001801608900001501626900002001641900001801661900002001679900001701699KSI00076743520100528142513ta090629s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc12(7)-12(12)00aIn-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성 =xProperties of Ag thin films deposited in oxygen atmosphere using in-line magnetron sputter system /d구대영,e김원목,e조상무,e황만수,e이인규,e정병기,e이택성,e이경석,e조성훈  ap. 661-668 ;c30 cm  a구대영, 한국항공대학교 항공재료공학과  a김원목, 한국과학기술연구원 재료연구부bwmkim@kist.re.kr  a조상무, 아이티엠 (주)  a황만수, 아이티엠 (주)  a이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과  a정병기, 한국과학기술연구원 재료연구부  a이택성, 한국과학기술연구원 재료연구부  a이경석, 한국과학기술연구원 재료연구부  a조성훈, 아주대학교 분자과학기술과  aTransparent conducting filmsaAg filmsaSpecific resistivityaOxygenaIn-line sputtera마그네트론 스퍼터 장치a산소 분위기a투명도전산화물1 a구대영4aut1 a김원목,g金元穆,d1959-0KAC2017208251 a조상무0KAC2020681041 a황만수1 a이인규1 a정병기,g丁炳起,d1959-0KAC2018270031 a이택성,g李澤成,d1966-0KAC2017203461 a이경석,g李敬錫,d1971-0KAC2018368801 a조성훈0 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g12권 8호(2002년 8월), p. 661-668q12:8<661w(011001)KSE199509224,x1225-056210aKu, Daeyoung10aKim, Wonmok,d1959-10aCho, Sangmoo10aWhang, Mansoo10aLee, Inkyu10aCheong, Byungki10aLee, Taeksung10aLee, Kyeongseok10aCho, Sunghun