01379nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003000096245024200126300002400368545006600392545006200458545006500520545006600585653012200651700005300773700001400826700003600840700001400876773013000890900001501020900001401035900001401049900001401063KSI00076250820091005100637ta090615s2000    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc10(7)00aAFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO₂ 박막의 표면형상에 관한 연구 =xAFM studies on the surface morphology of Sb-doped SnO₂ thin films deposited by PECVD /d윤석영,e김근수,e이원재,e김광호  ap. 525-531 ;c30 cm  a윤석영, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과  a김근수, 현대전자산업주식회사 공정기술팀  a이원재, 한국전기연구소 신소재응용연구그룹  a김광호, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과  aTin oxideaSnO2aSb dopingaPECVDaSurface roughnessa플라즈마 화학증착법a산화주석 박막a표면형상1 a윤석영,g尹錫永,d1960-0KAC2016333654aut1 a김근수1 a이원재,d1963-0KAC2018460401 a김광호0 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g10권 8호(2000년 8월), p. 525-531q10:8<525w(011001)KSE199509224,x1225-056210aYoon, S.Y.10aKim, K.S.10aLee, W.J.10aKim, K.H.