01905nam a2200409 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245025700125300002400382545006800406545008700474545006800561545006800629545006800697545006800765545006800833653011700901700003301018700001401051700001401065700004801079700003601127700004801163700003601211773012801247900001501375900001901390900001501409900001801424900001701442900001801459900001801477KSI00076483820091005100631ta090622s1999    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc9(7)00a온도 및 전류밀도 변화에 따른 Pd도금막 특성변화 연구 =xEffects of temperature and current density on the characteristics of electroplated Pd films /d배인경,e최광진,e김주희,e김영대,e심상준,e우경자,e조영상  ap. 775-781 ;c30 cm  a배인경, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a최광진, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터bgjchoi@kist.re.kr  a김주희, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a김영대, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a심상준, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a우경자, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a조영상, 한국과학기술연구원 청정기술연구센터  a온도a전류밀도aPd박막a전기도금방법aTemperatureaCurrent densityaPd filmsaEletroplating method1 a배인경0KAC2020637314aut1 a최광진1 a김주희1 a김영대,g金榮大,d1977-0KAC2018603571 a심상준,d1966-0KAC2015241251 a우경자,g禹庚子,d1960-0KAC2017106541 a조영상,d1950-0KAC2018473670 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g9권 8호(1999년 8월), p. 775-781q9:8<775w(011001)KSE199509224,x1225-056210aBae, In K.10aChoi, Guang J.10aKim, Ju H.10aKim, Young D.10aSim, Sang J.10aWoo, Kyoungja10aCho, Young S.