01004nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245018600125300002400311545004700335545004700382653011000429700001900539700004800558773012800606900002000734900002000754KSI00076437020091005100629ta090619s1999    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc9(1)00a금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 =x(The)effect on the microroughness of Si substrate by metallic impurity Ca /d최형석,e전형탁  ap. 491-495 ;c30 cm  a최형석, 한양대학교 재료공학부  a전형탁, 한양대학교 재료공학부  a금속 불순물aCaaSi 기판a표면 미세 거칠기aMicroroughnessaSi substrateaMetallic impurity1 a최형석4aut1 a전형탁,g全鎣卓,d1960-0KAC2017014340 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g9권 5호(1999년 5월), p. 491-495q9:5<491w(011001)KSE199509224,x1225-056210aChoi, Hyungseok10aJeon, Hyeongtag