01178nam a2200265 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245021300125300002600338545005900364545005900423545004700482653006900529700005300598700004800651700003600699773013400735900001300869900001500882900001500897KSI00076299420091005100625ta090616s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc8(7)00aRuO₂ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구 =xThermal stability of RuO₂ thin film annealed at high temperature in oxygen atmosphere /d오상호,e박찬경,e백홍구  ap. 1090-1098 ;c30 cm  a오상호, 포항공과대학교 재료금속공학과  a박찬경, 포항공과대학교 재료금속공학과  a백홍구, 연세대학교 금속공학과  aRuO2 thin filmaRuO2 박막a산소 분위기aOxygen atmosphere1 a오상호,g吳相虎,d1973-0KAC2017359844aut1 a박찬경,g朴贊卿,d1953-0KAC2013292821 a백홍구,d1952-0KAC2017002030 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g8권 12호(1998년 12월), p. 1090-1098q8:12<1090w(011001)KSE199509224,x1225-056210aOh, S.H.10aPark, C.G.10aBaik, H.K.