00970nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245016900125300002400294545004700318545004700365653009600412700001900508700004800527773012800575900001700703900002000720KSI00076251020091005100623ta090615s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc8(7)00aSi 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구 =x(A)study on the removal of Cu and Fe impurities on Si substrate /d최백일,e전형탁  ap. 837-842 ;c30 cm  a최백일, 한양대학교 금속공학과  a전형탁, 한양대학교 금속공학과  aSi 기판aSi substrateaCuaFea구리a철a금속불순물 제거aRemoval of impurities1 a최백일4aut1 a전형탁,g全鎣卓,d1960-0KAC2017014340 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g8권 9호(1998년 9월), p. 837-842q8:9<837w(011001)KSE199509224,x1225-056210aChoi, Baikil10aJeon, Hyeongtag