01538nam a2200337 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245028500125300002400410545006000434545006000494545006000554545006000614545006000674653011100734700001900845700003600864700004800900700001400948700003600962773012800998900001501126900001401141900001501155900001501170900001501185KSI00076160220091022100553ta090609s1994    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc4(5)00aZr/Si 다층박막에서의 고상반응에 의한 비정질상과 결정상의 생성 및 상전이 =xFormation of amorphous and crystalline phase, phase sequence by solid state reaction in Zr/Si multilayer thin films /d심재엽,e지응준,e곽준섭,e최정동,e백홍구  ap. 493-501 ;c30 cm  a심재엽, 연세대학교 공과대학 금속공학과  a지응준, 연세대학교 공과대학 금속공학과  a곽준섭, 연세대학교 공과대학 금속공학과  a최정동, 연세대학교 공과대학 금속공학과  a백홍구, 연세대학교 공과대학 금속공학과  aZr/Si 다층박막a비정질상a결정상aCrystalline phaseaPhase sequenceaZr/Si multilayer thin film1 a심재엽4aut1 a지응준,d1968-0KAC2020710831 a곽준섭,g郭準燮,d1969-0KAC2016357601 a최정동1 a백홍구,d1952-0KAC2017002030 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g4권 5호(1994년 8월), p. 493-501q4:5<493w(011001)KSE199509224,x1225-056210aShim, J.Y.10aChi, E.J.10aKwak, J.S.10aChoi, J.D.10aBaik, H.K.