01451nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245035900125300002400484545005900508545005900567545006400626545006400690653009300754700005300847700003600900700001400936700001400950773012800964900001401092900001401106900001401120900001501134 KSI000761543 20091022100552 ta 090609s1994 ulk 000 kor a011001 0 akor beng 01 a530.405 b한596ㅎ c4(1) 00 aSiO₂위에 증착된 S$$i_{1-X}$$G$$e_X$$ 합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구 = x(A)study of the crystallinity and microstructure of the S$$i_{1-X}$$G$$e_X$$ alloys deposited on the SiO₂ at various tempertures / d김홍승, e이정용, e이승창, e강상원 ap. 416-427 ; c30 cm a김홍승, 한국과학기술원 전자재료공학과 a이정용, 한국과학기술원 전자재료공학과 a이승창, 한국 전자통신연구소 반도체 연구단 a강상원, 한국 전자통신연구소 반도체 연구단 a증착온도 a결정성 a미세구조 aCrystallinity aMicrostructure aVarious temperture 1 a김홍승, g金泓承, d1968- 0KAC201704509 4aut 1 a이정용, d1951- 0KAC201329277 1 a이승창 1 a강상원 0 t한국재료학회지. d韓國材料學會. g4권 4호(1994년 6월), p. 416-427 q4:4<416 w(011001)KSE199509224, x1225-0562 10 aKim, H.S. 10 aLee, J.Y. 10 aLee, S.C. 10 aKang, S.W.