01267nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245019300121300002400314545005600338545005600394545005600450545005600506653009000562700005300652700001400705700001400719700001400733773015000747900001800897900001700915900001900932900001400951KSI00076546320090820112007ta090622s2002    hck        MG 000   kor    a0110010 akorbeng01a505b순961ㅇc8(2)00aSU-8 PR을 이용한 마이크로 구조물 제작 공정 개발 =x(A)development of fabrication processes of microstructure using SU-8 PR /d김창교,e장석원,e양성준,e노일호  ap. 265-270 ;c26 cm  a김창교, 순천향대학교 정보기술공학부  a장석원, 순천향대학교 정보기술공학부  a양성준, 순천향대학교 정보기술공학부  a노일호, 순천향대학교 정보기술공학부  a마이크로 구조물a제작 공정aFabrication processesaMicrostructureaSU-8 PR1 a김창교,g金昌敎,d1958-0KAC2017044084aut1 a장석원1 a양성준1 a노일호1 t(순천향)산업기술연구.d순천향대학교 교수학습개발센터.g8권 2호(2002년 12월), p. 265-270q8:2<265w(011001)KSE19990048510aKim, Changkyo10aJang, Sukwon10aYang, Seongjun10aNoh, Ilho