01596nam a2200373 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002300096245024500119300002200364545006300386545006300449545006300512545006300575545006300638545006300701653006800764700001900832700001400851700004800865700001400913700004800927700001400975773014700989900001501136900001401151900001401165900001401179900001501193900001401208KSI00071501720081113110709ta081006s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a405b한735ㄱc2500aRF magnetron sputtering 방법으로 성장된 ZnO 박막의 전기적 특성 연구 =xElectrical characterization of ZnO film grown by RF magnetron sputtering method /d박지선,e김진석,e김은규,e이종현,e홍진표,e김채옥  ap. 23-28 ;c26 cm  a박지선, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  a김진석, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  a김은규, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  a이종현, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  a홍진표, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  a김채옥, 한양대학교 자연과학대학 물리학과  aZnO 박막a전기적 특성aZnO filmaRF magnetron sputtering1 a박지선4aut1 a김진석1 a김은규,g金銀奎,d1957-0KAC2017438771 a이종현1 a홍진표,g洪鎭杓,d1961-0KAC2018032801 a김채옥0 t自然科學論文集-한양대학교.d漢陽大學校 自然科學硏究所.g25집(2005), p. 23-28q25<23w(011001)KSE199701733,x1226-124610aPark, J.S.10aKim, J.S.10aKim, E.K.10aLee, J.H.10aHong, J.P.10aKim, C.O.