01480nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003500096245025800131300002400389545007300413545005600486545005600542545005600598653015500654700004100809700004800850700003600898700004800934773012400982900001901106900001701125900001501142900002101157KSI00069639920081110130056ta080804s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a425.05b한446ㅎc14(1)-14(6)00a355nm 파장의 DPSSL을 이용한 폴리머의 3차원 미세 형상 광가공기술 =xThree-dimensional micro photomachining of polymer using DPSSL(diode pumped solid state laser) with 355nm wavelength /d장원석,e신보성,e김재구,e황경현  ap. 312-320 ;c29 cm  a장원석, 한국기계연구원 나노공정그룹bpaul@kimm.re.kr  a신보성, 한국기계연구원 나노공정그룹  a김재구, 한국기계연구원 나노공정그룹  a황경현, 한국기계연구원 나노공정그룹  aLaser ablationaPolymeraPhotomachiningaDPSSLaDiode pumped solid state lasera3D micro fabricationa폴리머a3차원 미세 형상 광가공기술1 a장원석,d1972-0KAC2018255494aut1 a신보성,g申普盛,d1962-0KAC2014057221 a김재구,d1967-0KAC2018525481 a황경현,g黃瓊玹,d1952-0KAC2016243310 t한국광학회지.d한국광학회.g14권 3호(2003년 6월), p. 312-320q14:3<312w(011001)KSE199509129,x1225-628510aChang, Wonseok10aShin, Bosung10aKim, Jaegu10aWhang, Kyunghyun