01492nam a2200337 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003500096245019000131300002400321545008600345545008600431545010700517545004500624545004500669653008600714700005300800700004800853700001400901700001400915700001400929773012400943900001601067900001701083900001901100900001801119900001701137KSI00069610320081110130055ta080804s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a425.05b한446ㅎc14(1)-14(6)00a초소형 전자 렌즈의 전자 광학적 분석 =xElectro-optical analysis of a miniaturized electrostatic electron lens /d김호섭,e김대욱,e김영철,e최상국,e김대용  ap. 194-199 ;c29 cm  a김호섭, 선문대학교 신소재과학과/차세대 반도체 기술연구소  a김대욱, 선문대학교 신소재과학과/차세대 반도체 기술연구소  a김영철, 선문대학교 신소재과학과/차세대 반도체 기술연구소byckim@sunmoon.ac.kr  a최상국, 한국 전자통신 연구원  a김대용, 한국 전자통신 연구원  aEinzel lensaMicrocolumnaElectron beamaResolutiona광학 렌즈a전자 렌즈1 a김호섭,g金浩燮,d1960-0KAC2017443404aut1 a김대욱,g金大旭,d1961-0KAC2018434821 a김영철1 a최상국1 a김대용0 t한국광학회지.d한국광학회.g14권 2호(2003년 4월), p. 194-199q14:2<194w(011001)KSE199509129,x1225-628510aKim, Hoseob10aKim, Daewook10aKim, Youngchul10aChoi, Sangkuk10aKim, Daeyong