00810nam a2200193 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002800096245015600124300002200280545005700302653006700359700005300426773011900479900001800598KSI00069294220081110130021ta080729s1990    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a425.05b한446ㅎc1(1)00aSpectroscopic ellipsometry를 이용한 표면 및 박막의 분석 =xAnalysis of surface and thin films using spectroscopic ellipsometry /d김상열  ap. 73-86 ;c29 cm  a김상열, 아주대학교 이과대학 물리학과  aSpectroscopic ellipsometrya박막a표면aThin filmaSurface1 a김상열,g金尙烈,d1954-0KAC2018047404aut0 t한국광학회지.d한국광학회.g1권 1호(1990년 3월), p. 73-86q1:1<73w(011001)KSE199509129,x1225-628510aKim, Sangyoul