01182nam a2200265 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002500096245029900121300002200420545005300442545005300495545005300548653006500601700001900666700001400685700004800699773012600747900001400873900001500887900001400902KSI00066083820080617100256ta080509s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a469.05b한428c9(2)00a증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화 =xEffects of the post-deposition treatments of annealing and surface sputter on the surface texture and electrical characteristics of ZnO thin films /d김병진,e최정호,e조남희  ap. 85-91 ;c26 cm  a김병진, 인하대학교 무기재료공학과  a최정호, 인하대학교 무기재료공학과  a조남희, 인하대학교 무기재료공학과  a표면스퍼터aZnO 박막aSurface sputteraZnO thin films1 a김병진4aut1 a최정호1 a조남희,g趙南熙,d1958-0KAC2018053690 t韓國結晶學會誌.d한국결정학회.g9권 2호(1998년 12월), p. 85-91q9:2<85w(011001)KSE199503870,x1229-870010aKim, B.J.10aChoi, J.H.10aCho, N.H.