01225nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245015300123300002100276545007100297545006000368545005000428653016300478700005300641700003600694700004700730773013600777900002100913900001800934900001900952KSI00064933220071004134302070903s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc22(12)00a나노 광소자용 나노스탬프 제조공정 연구=xNano stamp fabrication for photonic crystal waveguides/d정명영,e정은택,e김창석  ap. 16-21;c26 cm  a정명영, 부산대학교 나노기술학과bmyjeong@pusan.ac.kr  a정은택, 부산대학교 나노기술학과 대학원  a김창석, 부산대학교 나노기술학과  a2-Dimensional photonic crystalsaNano imprinting lithographyaPolymer waveguidea2차원 광자결정a나노임프린팅 리소그라피a고분자 도파로1 a정명영,g鄭命永,d1960-0KAC2017107574aut1 a정은택,d1972-0KAC2018819111 a김창석g金昌錫,d1973-0KAC2018472910 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g22권 12호(2005년 12월), p. 16-21q22:12<16w(011001)KSE199508376,x1255-907110aJeong, Myungyung10aJung, Uneteak10aKim, Changseok